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產(chǎn)品型號(hào)：UTM300A-MS廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-16訪 問 量：617原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
原裝ULVAC愛發(fā)科 渦輪分子泵UTM?MS 系列
特點(diǎn)
可直連羅茨泵（MBP）
使用MBP安裝組件可無(wú)需支架直接搭載MBP。
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
用途
光學(xué)膜蒸鍍?cè)O(shè)備
反射器蒸鍍?cè)O(shè)備
裝飾用蒸鍍?cè)O(shè)備
薄膜卷繞蒸鍍?cè)O(shè)備
內(nèi)嵌濺射設(shè)備
烘烤爐 /熱處理爐
凍干設(shè)備
檢漏設(shè)備
渦輪分子泵，帶有使用磁懸浮軸承的獨(dú)立控制器。我們有抽速為300~4000 L/s 的型號(hào)陣容?？刂破鲉卧梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
泵體和控制器分開?？刂破骺梢员O(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。
自由的安裝方向。自由的安裝方向使系統(tǒng)裝置的設(shè)計(jì)更靈活。
排氣速度300L/s～4000L/s的型號(hào)陣容。
分子泵轉(zhuǎn)速在25-100%范圍內(nèi)可變。通過改變轉(zhuǎn)速在腔室中實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。
高耐用性和安全性。通過了大氣沖擊試驗(yàn)、急停測(cè)試等各種安全性確認(rèn)試驗(yàn)。
各種設(shè)備的主真空排氣系統(tǒng)
- 半導(dǎo)體制造設(shè)備
- 蒸鍍?cè)O(shè)備
- 濺射設(shè)備
- 研究開發(fā)設(shè)備
- 分析設(shè)備、實(shí)驗(yàn)裝置等
主真空泵系統(tǒng)，用于不產(chǎn)生副反應(yīng)生成物的輕工藝產(chǎn)線的真空系統(tǒng)。
其他的高真空排氣系統(tǒng)。
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進(jìn)氣口 | VG100 / ICF152 | VG150 / ICF203 | VG200 / ICF253 | |||||||
| 出水口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | 水冷 | 空氣 冷卻 | ||
| 極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 抽氣速度*2 | 氮?dú)?/span> | 升/秒 | 320 | 420 | 800 | 1080 | ||||
| 和 | 升/秒 | ー | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫氣 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 790 | |||||
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8× 104 | |||||||||
| 氫氣 | 1× 104 | 4×10 3 | ||||||||
| 最大入口壓力*3 | 出色地 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 最大出口壓力*3 | 出色地 | 400 | 40 | 400 | 40 | 665 | 40 | 665 | 40 | |
| 轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 5分鐘或更短 | |||||||||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー | 1～3 | ー |
| 壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | 02～0.5 | ー | |
| 噪音 | 分貝(聲級(jí)) | 60 | ||||||||
| 重量 | 公斤 | 14 | 33 | 三十二 | ||||||
| 推薦前級(jí)泵 | 200L/略多 | 500L/略多 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | ||||||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 最大功率 | 0.55 | 1.0 | ||||||||
| 速度變化 | 轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)（設(shè)定為0.1%） | |||||||||
| 溝通 | 接觸 | |||||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | ||||||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | ||||||||
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進(jìn)氣口 | VG200 / ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 出水口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 出色地 | 10 -7 | |||||
| 抽氣速度*2 | 氮?dú)?/span> | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 和 | 升/秒 | ー | 2000 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | ー | |
| 氫氣 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮?dú)?/span> | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1× 104 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3× 104 | |||
| 氫氣 | 1× 103 | 3×10 3 | 6×10 3 | 2× 103 | |||
| 最大入口壓力*3 | 出色地 | 133 | 40 | ||||
| 最大出口壓力*3 | 出色地 | 270 | 270 | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 轉(zhuǎn)速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動(dòng)時(shí)間 | 7分鐘或更短 | 11分鐘或更短 | 12分鐘或更短 | 18分鐘或更短 | |||
| 安裝位置 | 朝任意方向 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流速 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(聲級(jí)) | 60 | 57 | 60 | |||
| 重量 | 公斤 | 三十九 | 四十二 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦前級(jí)泵 | 600L/略多 | 1300L/略多 | 1500L/略多 | ||||
| 控制器 | 作品 | 分離型 | |||||
| 輸入電功率 | 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 最大功率 | 1.0 | 1.5 | |||||
| 速度變化 | 轉(zhuǎn)速在額定轉(zhuǎn)速的25%~100%之間可調(diào)（設(shè)定為0.1%） | ||||||
| 溝通 | 接觸 | ||||||
| 串口：RS-232C / RS-485 | |||||||
| 重量 | 公斤 | 8 | |||||
*1：表示位數(shù)。
*2：無(wú)防護(hù)網(wǎng)。
*3：最大入口壓力和最大出口壓力不能同時(shí)滿足。
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