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ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀

更新時間：2025-12-09

訪問量：1516

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址：

簡要描述：

ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀
新型工藝氣體分析儀(RGA)，實現(xiàn)了高壓下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的簡單易操作性。來自不同生產(chǎn)線的設(shè)備工程師的反饋被納入產(chǎn)品的設(shè)計中，濺射設(shè)備的工藝管理（提高品質(zhì)、提高良率）。

在線詢價聯(lián)系我們

產(chǎn)品介紹：

品牌	ULVAC/日本愛發(fā)科	產(chǎn)地類別	進口
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀

特點

適用于各種濺射系統(tǒng)的工藝監(jiān)控
Air Leak監(jiān)控
殘留水分管理
無需差動排氣系統(tǒng)（less than 1 Pa at 7.5 x 10-3Torr/1 x 10-2 mbar）
內(nèi)置顯示屏：無需PC可單獨操作使用
可進行高靈敏度泄漏測試（CGM2-052）
可進行全壓測定
操作簡單-One Click功能
標配Qulee QCS軟件
支持CE標準

用途

適用于濺射設(shè)備的殘余氣體分析、工藝監(jiān)控和雜質(zhì)管理(H2O)。
用于濺射設(shè)備的泄漏測試。

ULVAC愛發(fā)科氣體監(jiān)測儀

CGM-051/CGM2-101/CGM-052/CGM2-102

規(guī)格

分解能

M/△M=1M(10% P.H.)

型號	CGM-051	CGM2-101	CGM-052	CGM2-102
質(zhì)量分離方式	四極型質(zhì)量分析儀
質(zhì)量數(shù)范圍	1～50 amu	1～100 amu	1～50 amu	1～100 amu
檢出器	法拉第杯		二級電子倍增管／法拉第杯
感度	0.1uA/Pa		0.1mA/Pa
最小檢知分圧	1x10-7Pa		1x10-10Pa
最大使用圧力	2Pa		2Pa(FC)1x10-2Pa(SEM)
線性	1Pa
全壓力測量功能	有
Degas function	Electron bombard type 300V, 5mA
一鍵檢漏功能	有 / He / H2O / N2 / O2 / Any gas
電源電壓	DC24V±10％　50W
最大烘烤可能溫度 (傳感器單元連接時)	120℃
最大烘烤可能溫度 (傳感器單元移除時)	250℃
使用溫度范圍	10～40℃
接口	Ethernet
軟件	Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
符合標準	CE